Capa de Pvd de la película fina de la pureza elevada de la blanco de la farfulla de la aleación de CrAlSi por encargo

La fabricación de objetivos de pulverización catódica de silicio y aluminio con cromo comprende los siguientes pasos:
1. Fusión al vacío de Silicio, Aluminio y Crono para obtener aleaciones escalonadas.
2. Molienda y mezcla de polvo.
3.Tratamiento de prensado isostático en caliente para obtener el objetivo de pulverización catódica de aleación de silicio y aluminio de cromo.
Los objetivos de pulverización catódica de silicio, aluminio y cromo se utilizan ampliamente en herramientas de corte y moldes, debido a su resistencia al desgaste y a la oxidación a altas temperaturas para mejorar el rendimiento de la película.
Se formaría una fase amorfa de Si3N4 durante el proceso de PVD de objetivos de CrAlSi.Debido a la incorporación de la fase amorfa de Si3N4, el crecimiento del tamaño del grano podría restringirse y mejorar la propiedad de resistencia a la oxidación a altas temperaturas.