El objetivo de la limpieza del objetivo es eliminar el posible polvo o suciedad de la superficie del objetivo.Ahora, el editor de Rich Special Material Co., LTD. (RSM) compartirá con usted los cuatro pasos para limpiar objetivos metálicos:
El primer paso es limpiar con un paño suave y sin pelusa empapado en acetona;
El segundo paso es similar al primero, limpiar con alcohol;
Paso 3: limpiar con agua desionizada.Después de lavarlo con agua desionizada, el objetivo se coloca en un horno y se seca a 100 ℃ durante 30 minutos.Los objetivos de óxido y cerámica deben limpiarse con un “paño sin pelusa”.
El cuarto paso es lavar el objetivo con argón con alta presión y bajo nivel de agua para eliminar todas las partículas de impureza que puedan formar un arco en el sistema de pulverización catódica.
Nota: cuando manipule el objetivo, use guantes de mantenimiento limpios y sin pelusa para evitar absolutamente el contacto directo con el objetivo con la mano.
Hora de publicación: 24 de junio de 2022