Muchos amigos tienen más o menos preguntas sobre el mantenimiento del objetivo, recientemente también hay muchos clientes que consultan sobre problemas relacionados con el mantenimiento del objetivo, permítanos compartir con el editor de RSM sobre el conocimiento sobre el mantenimiento del objetivo.
¿Cómo se deben mantener los objetivos de chisporroteo?
1. Mantenimiento del objetivo
Para evitar cortocircuitos y arcos causados por cavidades sucias en el proceso de pulverización catódica, es necesario eliminar periódicamente las partículas pulverizadas acumuladas en el medio y ambos lados de la pista de pulverización catódica, lo que también ayuda a los usuarios a pulverizar continuamente a alta densidad de potencia.
2. Almacenamiento de objetivos
Recomendamos que los usuarios almacenen el objetivo (ya sea metálico o cerámico) en un envase al vacío, especialmente el objetivo de ajuste debe almacenarse al vacío para evitar que la oxidación de la capa de ajuste afecte la calidad del ajuste.En cuanto al embalaje de los objetivos metálicos, sugerimos que se empaqueten al menos en bolsas de plástico limpias.
3. Limpieza de objetivos
El primer paso es limpiar con un paño suave y sin pelusa empapado en acetona;
El segundo paso es similar al primero, limpiar con alcohol;
Paso 3: limpiar con agua desionizada.Después de limpiar con agua desionizada, el objetivo se coloca en el horno y se seca a 100 ℃ durante 30 minutos.Se sugiere utilizar un “paño sin pelusa” para limpiar objetivos cerámicos y de óxido.
El cuarto paso es lavar el objetivo con argón con alta presión y baja humedad para eliminar cualquier partícula impura que pueda causar un arco en el sistema de pulverización catódica.
4 、 Verificación de cortocircuito y estanqueidad.
Una vez instalado el objetivo, es necesario comprobar que todo el cátodo no tenga cortocircuitos ni estanqueidad.Se recomienda juzgar si hay un cortocircuito en el cátodo utilizando un medidor de resistencia y un megger.Después de confirmar que no hay cortocircuito en el cátodo, se puede realizar una inspección de fugas de agua y se puede introducir agua en el cátodo para determinar si hay fugas de agua.
5 、 Embalaje y transporte
Todos los objetivos se envasan en bolsas de plástico selladas al vacío con un agente a prueba de humedad.El paquete exterior es generalmente una caja de madera con una capa anticolisión alrededor para proteger el objetivo y el backplane de daños durante el transporte y almacenamiento.
Hora de publicación: 15-jul-2022