Muchos usuarios no consideran la compra de objetivos desde un punto de vista profesional, entonces, ¿a qué se debe prestar atención al comprar objetivos?Pidamos al Xiaobian de Beijing Ruichi que señale los asuntos que requieren atención al comprar objetivos.
En primer lugar, para el objetivo, la pureza es uno de sus principales indicadores funcionales, y la pureza del objetivo tiene un gran impacto en la función de la película del producto posterior.Cada producto también tiene diferentes requisitos en cuanto a la pureza del objetivo.
En segundo lugar, el contenido de impurezas de los elementos individuales del objetivo.Después de una serie de procesamiento objetivo, las impurezas en el sólido objetivo y el oxígeno y el vapor de agua en los poros son las principales fuentes de contaminación de las películas depositadas.Debido a los diferentes usos de los objetivos, los requisitos para diferentes contenidos de impurezas de objetivos con diferentes usos también son diferentes.Por ejemplo, los objetivos de aluminio puro y aleaciones de aluminio utilizados en la industria de semiconductores ahora tienen requisitos especiales en cuanto al contenido de metales alcalinos y elementos radiactivos.
La densidad también es uno de los índices de rendimiento importantes del objetivo. En el proceso técnico del objetivo, para reducir los poros en el sólido objetivo y mejorar la función de la película pulverizada, generalmente se requiere que el objetivo tenga una alta densidad.La densidad característica principal del objetivo tiene una gran influencia en la velocidad de pulverización y afecta las funciones eléctricas y ópticas de la película.Cuanto mayor sea la densidad objetivo, mejor será la función de la película.
Finalmente, el tamaño de grano y la distribución de grano.Por lo general, el material objetivo es policristalino y el tamaño del grano puede variar de micras a milímetros.Para el mismo objetivo, la velocidad de pulverización catódica del objetivo de grano fino es más rápida que la del objetivo de grano grueso;El espesor de las películas depositadas mediante pulverización catódica con una pequeña diferencia de tamaño de grano (dispersión uniforme) es más uniforme.
Hora de publicación: 10-jun-2022