En la actualidad, entre los principales fabricantes de objetivos para salpicaduras del mundo, existen dos métodos diferentes para la fabricación de objetivos para salpicaduras de aleación de aluminio.Una es elegir el método de fundición para fabricar el lingote y luego realizar el proceso de fundición.El otro está hecho mediante moldeo por pulverización. Deje que el editor de Beijing lo compense para compartir sobre el proceso de fabricación de la aleación de titanio y aluminio, lo que es de sentido común.
En lo que respecta a los métodos de fundición/moldeado conocidos, cuando se fabrica el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio, el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio a menudo está sujeto a segregación debido a la adición de elementos de aleación, lo que da como resultado una mala calidad de la película pulverizada y micropartículas. son fáciles de producir en la superficie del objetivo de pulverización catódica, lo que también afectará la uniformidad de las propiedades de la película; sin embargo, si se utiliza el método conocido de formación por pulverización para fabricar el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio, aunque los defectos relacionados mencionados anteriormente pueden corregirse. Si se evita, el costo de fabricación del objetivo de pulverización catódica mejorará enormemente, especialmente cuando se fabriquen algunos objetivos de pulverización catódica que no son fáciles de fundir y deben prensarse en caliente, el costo mejorará mediante el uso de prensado en caliente.
Para facilitar el proceso de fabricación del objetivo de aleación de aluminio y titanio y reducir el costo, aquí se presenta un método de fabricación del objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio con polvo pulverizado con aire.Su principio se refiere a que un material en polvo del objetivo de pulverización catódica se fabrica mediante el método de pulverización con aire de acuerdo con la proporción de composición de la aleación, y luego el polvo de aleación se tamiza para obtener el tamaño de partícula de polvo apropiado.Finalmente, el polvo se prensa en caliente al vacío para convertirlo en un objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio.
Este método de fabricación de objetivos de salpicadura de aleación de aluminio con polvo pulverizado con aire se puede utilizar para fabricar varios objetivos de salpicadura de aleación de aluminio (aluminio, cromo, aluminio, silicio, cobre, aluminio, titanio, etc.).Los pasos de implementación preferidos son: suministrar materiales metálicos para fabricar objetivos de salpicaduras de aleación de aluminio y fundirlos en metal fundido; luego, el metal fundido se convierte en polvo metálico mediante el método de pulverización con aire;Finalmente, el polvo metálico se forma mediante prensado en caliente al vacío para crear un objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio y se introduce un gas inerte como gas de mantenimiento.Este método puede evitar la segregación de datos y los defectos de micropartículas, y producir objetivos de pulverización catódica de alta calidad de forma más rápida y económica.
Hora de publicación: 01-jun-2022