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¿Cuáles son los materiales objetivo de la pulverización catódica con magnetrón?

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Los materiales objetivo de pulverización catódica de alta pureza y alta densidad son:

Material objetivo de pulverización (pureza: 99,9% -99,999%)

1. Objetivo metálico:

Objetivo de níquel, Ni, objetivo de titanio, Ti, objetivo de zinc, Zn, objetivo de cromo, Cr, objetivo de magnesio, Mg, objetivo de niobio, Nb, objetivo de estaño, Sn, objetivo de aluminio, Al, objetivo de indio, In, objetivo de hierro, Fe, Objetivo de circonio y aluminio, ZrAl, Objetivo de titanio y aluminio, TiAl, Objetivo de circonio, Zr, objetivo de aluminio-silicio, AlSi, objetivo de silicio, Si, objetivo de cobre Cu, objetivo de tantalio T, A, objetivo de germanio, Ge, objetivo de plata, Ag, cobalto objetivo, Co, objetivo de oro, Au, objetivo de gadolinio, Gd, objetivo de lantano, La, objetivo de itrio, Y, objetivo de cerio, Ce, objetivo de tungsteno, W, objetivo de acero inoxidable, objetivo de níquel-cromo, NiCr, objetivo de hafnio, Hf, objetivo de molibdeno, Mo, objetivo de Fe-Ni, FeNi, objetivo de tungsteno, W, etc.

2. Material objetivo cerámico

objetivo objetivo de ITO, óxido férrico, objetivo de óxido de magnesio, objetivo, objetivo, carburo de silicio, nitruro de silicio, objetivo de nitruro de titanio, objetivo, objetivo, sulfuro de zinc, óxido de zinc, óxido de cromo, dióxido de silicio, objetivo, objetivo de óxido de silicio, objetivo de óxido de cerio, objetivo, cinco dióxido de circonio oxígeno HuaEr niobio objetivo objetivo, objetivo, dióxido de titanio, dióxido de circonio, hafnio objetivo, objetivo, diboruro de titanio diboruro objetivo de circonio, objetivo de trióxido de tungsteno, objetivo de trióxido de aluminio pentaóxido de tantalio, objetivo de pentaóxido de niobio, objetivo de fluoruro de magnesio, fluoruro de itrio objetivo, objetivo de seleniuro de zinc, objetivo de nitruro de aluminio, objetivo de nitruro de silicio, objetivo de nitruro de boro, objetivo de nitruro de titanio, objetivo de carburo de silicio, objetivo de niobato de litio, objetivo de titanato de praseodimio, objetivo de titanato de bario, objetivo de titanato de lantano, objetivo de óxido de níquel, objetivo de pulverización catódica, etc. .


Hora de publicación: 05-ago-2022