El polisilicio es un importante material objetivo de pulverización catódica.El uso del método de pulverización catódica con magnetrón para preparar SiO2 y otras películas delgadas puede hacer que el material de la matriz tenga una mejor resistencia óptica, dieléctrica y a la corrosión, que se usa ampliamente en industrias de pantallas táctiles, ópticas y otras.
El proceso de fundición de cristales largos consiste en realizar la solidificación direccional del silicio líquido desde abajo hacia arriba gradualmente controlando con precisión la temperatura del calentador en el campo caliente del horno de lingotes y la disipación de calor del material de aislamiento térmico, y la La velocidad de solidificación de los cristales largos es de 0,8 ~ 1,2 cm/h.Al mismo tiempo, en el proceso de solidificación direccional, se puede lograr el efecto de segregación de elementos metálicos en materiales de silicio, se puede purificar la mayoría de los elementos metálicos y se puede formar una estructura de grano de silicio policristalino uniforme.
El polisilicio fundido también debe ser dopado intencionalmente en el proceso de producción para cambiar la concentración de impurezas aceptoras en el silicio fundido.El principal dopante del polisilicio fundido tipo p en la industria es la aleación maestra de boro y silicio, en la que el contenido de boro es aproximadamente del 0,025%.La cantidad de dopaje está determinada por la resistividad objetivo de la oblea de silicio.La resistividad óptima es 0,02 ~ 0,05 Ω · cm, y la concentración de boro correspondiente es de aproximadamente 2 × 1014 cm-3. Sin embargo, el coeficiente de segregación del boro en el silicio es 0,8, lo que mostrará un cierto efecto de segregación en el proceso de solidificación direccional, es decir Es decir, el elemento boro se distribuye en un gradiente en la dirección vertical del lingote y la resistividad disminuye gradualmente desde la parte inferior hasta la parte superior del lingote.
Hora de publicación: 26 de julio de 2022