El objetivo se envasa en una bolsa de plástico de doble vacío.Recomendamos que los usuarios almacenen el objetivo, ya sea metálico o cerámico, en envases al vacío, especialmente el objetivo de unión debe almacenarse al vacío para evitar que la oxidación de la capa de unión afecte la calidad de la unión. En cuanto al envasado de objetivos metálicos, insistimos en que el El requisito mínimo es empacarlos en bolsas de plástico limpias.A continuación, el autor de Beijing Richmat compartirá con usted cuáles son las habilidades de almacenamiento y mantenimiento de objetivos de aleación.
Las habilidades de mantenimiento sobre el objetivo de aleación son las siguientes:
Para evitar cortocircuitos y arcos debidos a cavidades sucias en el proceso de pulverización catódica, es necesario retirar el centro de la pista de pulverización catódica y ambos lados de la acumulación de pulverización catódica, lo que también ayuda a los usuarios a continuar con la máxima densidad de potencia de pulverización catódica.
Paso 1: Limpiar con un paño sin vellón empapado en acetona;
Paso 2: Limpiar con alcohol similar al paso 1;
Paso 3: Lavar con agua desionizada.Después de limpiar con agua desionizada, el objetivo se coloca en un horno para que se seque a 100 grados Celsius durante 30 minutos.Los objetivos de óxido y cerámica se limpian con un “paño sin franela”.
Paso 4: después de eliminar el área polvorienta, se utiliza argón con gas de alta presión y baja humedad para lavar el objetivo y eliminar todas las partículas de impureza que puedan formar arcos en el sistema de pulverización catódica.
Hora de publicación: 07-jun-2022